工業生產排放的廢氣污染物有很多種，包括粉塵顆粒和有害氣體。在工業廢氣處理過程中，應結合不同類型的廢氣污染物，采取最佳的處理措施。結合國內廢氣處理技術的發展，常用的廢氣處理方法主要有:催化燃燒設備吸附法、催化燃燒裝置吸收法、催化燃燒一體機生物法、催化燃燒設備催化燃燒法、催化燃燒裝置光分解法。

吸附法

催化燃燒設備吸附法主要采用物理吸附法，如常用的硅膠、活性炭等吸附能力強的物質對工業生產廢氣污染物進行吸附，從而達到對被污染氣體的最佳凈化效果。該方法不需要復雜的設備，管理更方便。它經常用于不同工業廢氣的凈化處理，也是國內工業廢氣處理中常用的一種技術。但由于該方法成本較高，如果不能及時更換填料，將會極大地影響凈化效果，導致二次污染。

吸收法

催化燃燒裝置吸收法主要是利用化學凈化廢氣,使用特殊的化學物質吸收工業廢氣污染物,然后結合污染物的特點,吸收劑的吸收劑將單獨的污染物,吸收通常用于氣體壓力和污染物濃度、高低溫環境中,由于難以回收處理藥物的吸收,所以成千上萬的這種方法是難以使用。

催化燃燒法

許多工業廢氣含有更多有害的病毒，主要是因為它們在生產過程中不能完全燃燒。因此，催化燃燒設備催化燃燒是利用特定的催化劑使廢氣燃燒，從而使廢氣變成無害氣體的一種方法。這種方法難以回收污染物，也難以取得更大的經濟效益。

生物法

含有機污染物的工業廢氣一般采用生物法處理，同時保證其具有一定的生物降解性。催化燃燒裝置生物法是常用的氣體脫臭方法。與常用方法相比，該方法所用設備簡單，操作和建設投資相對較低，不產生二次污染。然而，廢氣的生物處理只能用于低濃度的廢氣，同時污染物必須是可生物降解的，因此生物處理難以廣泛應用。

光分解法

在催化燃燒一體機光分解法中，TiO2主要作為介質，在光照條件下將催化劑轉化為電子，然后將空氣分解為OH-離子，使介質具有一定的還原作用。該方法可以對不同的有毒有害污染物進行處理，促進其分解，最終達到廢氣的凈化效果。廢氣光分解方法如下:1)用特定波長的光照射被污染的氣體，讓污染物在光的作用下分解;2)利用催化劑在特定光照條件下分解和凈化污染物。這種方法在國外已經取得了一定的成效，但在國內還需要進一步的研究。