1吸附法

吸附主要是利用物理吸附的方法處理工業廢氣，如普通硅膠和活性炭等吸附能力強的物質來吸附工業廢氣污染物，以達到污染氣體的最佳凈化效果。這種方法不需要復雜的設備，管理方便。常用于不同的工業廢氣凈化處理，也是目前國內工業廢氣處理中的常用技術。但由于這種方法成本較高，如果不能及時更換填料，會對凈化效果造成很大影響，進而導致二次污染。

2吸收法

吸收法主要采用化學方法凈化廢氣，用于工業廢氣處理。利用特殊的化學物質吸收工業廢氣污染物，然后結合污染物和吸收劑的特性，將污染物從吸收劑中分離出來。吸收法常用于氣體壓力高、污染物濃度高、溫度低的環境中。由于處理后的吸收劑難以回收，這種方法很難大面積推廣。

3催化燃燒法

很多工業廢氣中含有較多的有害病毒，主要是生產過程中廢氣難以完全燃燒造成的。所以催化燃燒是用特定的催化劑燃燒廢氣，從而將廢氣變成無害氣體的一種處理工業廢氣的方法。這種方法很難回收污染物，也很難取得巨大的經濟效益。

4生物學方法

生物法常用于處理含有有機污染物的工業廢氣，同時需要保證其可生化性。這種方法常用于氣體除臭。與常用方法相比，該方法使用的設備更簡單，運行和建設投資相對較低，且不會產生二次污染。而廢氣生物處理只能用于低濃度廢氣，同時污染物必須可降解，生物處理很難大面積推廣使用。

5光分解法

光解法主要是以TiO2為介質，通過光照條件將催化劑變成電子，然后將空氣分解成OH-離子。同時，該介質對工業廢氣處理有一定的還原作用。這種方法可以用來處理不同的有毒有害污染物，促進其分解，進而達到廢氣凈化的最終效果。廢氣分解的方法如下:

1)用特定波長光照射污染氣體，在光的作用下分解污染物；

2)在特定光照條件下，利用催化劑分解凈化污染物。這種方法在國外已經取得了一定的成果，在國內還需要進一步研究。