有機廢氣一般易燃易爆，有毒有害，不溶于水，溶于有機溶劑，處理難度大。在有機廢氣的處理中，常用的原理有活性炭吸附、催化燃燒、催化氧化、酸堿中和、等離子體法等。但等離子法一般不推薦，因為高壓放電容易爆炸的危險。目前比較好的有機廢氣處理方法是廢氣處理塔采用五重有機廢氣吸附過濾凈化系統，廢氣處理設計周密，廢氣逐層凈化過濾，效果良好。活性炭濾芯，活性炭過濾棉，活性炭纖維都用。

根據其性質，無機廢氣可分為氯化氫、H2S、氮氧化物等。以及含塵廢氣，如各種金屬冶煉過程中的氧化粉塵、礦石加工過程中的石粉等。

無機廢氣處理技術，無機廢氣如HCl、H2S一般采用液體噴淋吸收處理。近年來，隨著經濟的發展，大量新建化工企業，環保投入不足，導致大量工業有機廢氣排放，大氣環境質量惡化？它嚴重危害人類健康，給國民經濟造成巨大損失，因此有必要加大對有機廢氣的治理力度。人們對有機廢氣的處理進行了長期的研究，開發了一些有效的控制技術，如熱破壞法、冷凝法、吸收法等，并得到了廣泛的應用和研究。近年來形成的新的控制技術包括生物膜法、電暈法和等離子體分解法。

1、熱燃燒法：有機廢氣在高溫下與燃氣充分混合，達到完全燃燒。適用于處理濃度高、氣量小的可燃氣體，凈化效率高，有機廢氣完全氧化分解。缺點:設備易腐蝕，處理成本高，易形成二次污染。

2、催化燃燒法：在催化劑的作用下，有機廢氣中的碳氫化合物在低溫下迅速氧化成水和二氧化碳，從而達到治理的目的。缺點:催化劑易中毒，投入成本高；

3、吸收法：利用有機廢氣易溶于水的特性，使廢氣直接與水接觸，從而溶于水，達到去除廢氣的效果。適用于水溶性有組織排放源的有機氣體，工藝簡單，管理方便，設備運行費用低。缺點:產生二次污染，洗滌液需要處理；凈化效率低；

4、吸附法：用吸附劑吸附有機廢氣，適用于處理低濃度有機廢氣。凈化效率高、成本低。缺點：再生困難，需要不斷更換；

5、生物法：利用微生物的生命過程，將廢氣中的氣態污染物分解轉化為較少甚至無害的物質。自然界中有各種各樣的微生物，幾乎所有的無機和有機污染物都可以被轉化。生物處理不需要再生等深度處理工藝。與其他凈化方法相比，生物處理具有設備簡單、能耗低、安全可靠、無二次污染等優點，但不能回收污染物。

6、低溫等離子體技術：在介質阻擋放電過程中，等離子體內部產生電子、離子、自由基、激發態分子等化學活性極高的粒子。廢氣中的污染物與這些活性基團發生高能反應，最終轉化為CO2、H2O等物質，從而凈化廢氣。適用范圍廣，凈化效率高，特別適用于化工等行業難以用其他方法處理的多組分惡臭氣體。電子能量高，幾乎能與所有惡臭氣體分子相互作用；運營成本低；快速反應，設備快速啟動和停止，隨時可用。缺點：一次性投入高，存在安全隱患。

7、光氧催化燃燒簡介：光氧催化處理技術是利用特殊的紫外波段(C波段)粉碎廢氣分子，在特殊的催化氧化劑作用下進一步氧化還原的特殊處理方法。廢氣首先通過特定波段的高能紫外線波使有機分子斷裂，使其分子鏈斷裂；同時，通過分解空氣體中的氧氣和水，得到高濃度的臭氧，臭氧進一步吸收能量，形成氧化性能更高的游離氧化廢氣分子。同時根據廢氣的不同成分，配置多種復合惰性催化劑，大大提高了廢氣處理的速度和效率，從而達到凈化廢氣的目的。沒有發現缺點。